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紅外氣體傳感器

簡(jiǎn)要描述：紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新日期：2025-01-21
  • 訪  問(wèn)  量：254

詳細(xì)介紹

紅外氣體傳感器

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度

（3）無(wú)耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計(jì)，便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測(cè)原理NDIR
檢測(cè)氣體SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測(cè)限1ppm



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